Position: Home > > Analytical instruments > Mass spectrograph > Gas -mass spectrometry > SHP8500 PMS process gas mass spectrum analyzer for Semiconductor Industry

SHP8500 PMS process gas mass spectrum analyzer for Semiconductor Industry

Product ID:FZqz007

Price: Please inquire PDF Format
Supply Ability:20SETS/MON
Port:SHENZHEN
share:
  • Product Introduction
  • Consulting
  • Model NumberSHP8500
    Brand NameYIMA
    Payment TermsT/T, paypal
    Introduction
    The instruments have a desktop and rack type two kinds of models, can choose 
    according to different application environments. Instrument adopts high performance
     of quadrupole mass analyzers and the design of specialized software for process
     gas analysis, can be quickly in real time, online on process gas analysis. 
    Through multichannel sampling valve to realize multipoint monitoring, providing 
    components, flow analysis.Instrument characteristics
    Dynamic, continuous sampling, realtime, online gas analysis; Fast response speed, 
    powerful data analysis. Instrument integration, high degree of automation. Optional 
    industrial control computer and embedded operating system, instrument control and 
    data analysis software into an organic whole, small volume, strong antijamming capability. Two organic posture and desktop models for optional, full consideration to the needs of online analysis. Electromagnetic valve or more general rotary valve is adopted to improve the process of  the gas circuit switching, multicast, multicomponent automatic 
    monitoring, light structure, convenient and quick.
    Sampling and pretreatment device can be customized according to demand, convenient
     realization of surge tank, filter, dehumidification, heating, etc. Can control the
     temperature of the air inlet pipe, effectively prevent the process gas condensation in
     the sampling process. Double filament, and is equipped with filament protection, 
    extend the service life of the filament to a great extent.
     Fuselage with twostage vacuum pump, the application scope can be from high pressure to ultra
     high vacuum, combination configuration according to customer's demand. Fast 
    automatic calibration, including the background of calibration, calibration, ionization
     sensitivity calibration. Human task management function, the user can customize the 
    Settings analysis task. The data output by using DDE and OPC, perfectly compatible with other software systems. Have a network interface, which can realize the remote control.
    Technical parameters
     Mass number range: 1-100 amu, 1-200 amu, amu. 1-300
    Response time: ms level
    Minimum test pressure points: 5 x 10-11 Torr (FC) 5 x 10-14 Torr (CDEM)
    Detection limit: 10 PPM or less (FC)
    Operating range: from atmospheric pressure to high vacuum
    Operating temperature: 70 °C or less
    Sampling pressure: 5 or less bar (with special needs can be customized)
    Quality analyzer: quadrupole (Quad)
    Detector: Faraday cup (FC), electron multiplier (CDEM) optional
    Ion source: electron impact (EI) source
     

  • Introduction
    The instruments have a desktop and rack type two kinds of models, can choose 
    according to different application environments. Instrument adopts high performance
     of quadrupole mass analyzers and the design of specialized software for process
     gas analysis, can be quickly in real time, online on process gas analysis. 
    Through multichannel sampling valve to realize multipoint monitoring, providing 
    components, flow analysis.Instrument characteristics
    Dynamic, continuous sampling, realtime, online gas analysis; Fast response speed, 
    powerful data analysis. Instrument integration, high degree of automation. Optional 
    industrial control computer and embedded operating system, instrument control and 
    data analysis software into an organic whole, small volume, strong antijamming capability. Two organic posture and desktop models for optional, full consideration to the needs of online analysis. Electromagnetic valve or more general rotary valve is adopted to improve the process of  the gas circuit switching, multicast, multicomponent automatic 
    monitoring, light structure, convenient and quick.
    Sampling and pretreatment device can be customized according to demand, convenient
     realization of surge tank, filter, dehumidification, heating, etc. Can control the
     temperature of the air inlet pipe, effectively prevent the process gas condensation in
     the sampling process. Double filament, and is equipped with filament protection, 
    extend the service life of the filament to a great extent.
     Fuselage with twostage vacuum pump, the application scope can be from high pressure to ultra
     high vacuum, combination configuration according to customer's demand. Fast 
    automatic calibration, including the background of calibration, calibration, ionization
     sensitivity calibration. Human task management function, the user can customize the 
    Settings analysis task. The data output by using DDE and OPC, perfectly compatible with other software systems. Have a network interface, which can realize the remote control.
Products
Analytical instruments
Physical property test
Environmental monitoring and analysis
Lab general equipment
About us
About this website
Our service
Product purchase
Contact Us

Newsletter

Make Sure you dont miss interesting happenings by joining our newsletter program.

Contact Us
+86-18620722006
instruments@instrumentstrade.com